La riflessione di elettroni ad alta energia (RHEED) è una tecnica di diffrazione che utilizza un cannone di energia variabile, di energia cinetica tipicamente tra 1-15 KeV, ma può raggiungere i 50 Kiev, incidendo sulla superficie del campione ad angoli di radenza compresi tra 1-5°. Queste condizioni sperimentali evitano una larga penetrazione degli elettroni in profondità del campione, per poter ottenere informazione sensibili alla superficie e trarre un beneficio dalla elevata sezione d’urto della diffrazione in avanti. Gli elettroni così diffratti sono visualizzati su di uno schermo fluorescente, determinando il così detto RHEED pattern. La tecnica RHEED è usata durante la crescita epitassiale in ultra alto vuoto da fascio molecolare per un monitoraggio delle modificazioni della struttura atomica dello strato depositato e la determinazione del suo spessore.
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