Questo setup customizzato è composto da quattro punte in metalliche equidistanti (0.75 mm). Ogni punta è supportata su un’estremità da molle così da ridurre al minimo i danni al campione durante le misure. Le quattro punte metalliche fanno parte di uno stage controllabile manualmente in direzione verticale e consente un caricamento facilitato dei campioni.
Il sistema è posto in una camera da vuoto dotata di una pompa rotativa e (opzionalmente) di una pompa turbo.
Il sistema misura resistenza di strato e la resistività dei campioni in un intervallo di temperatura fino a 350°C. La corrente e la tensione necessarie alla misura vengono applicate e misurate rispettivamente mediante un generatore di corrente (Keithley 6220) ed un nanovoltmetro (2182A). La separazione degli elettrodi di tensione e corrente permette di eliminare la resistenza di contatto dalla misura.
Le misure possono anche essere eseguite in un flusso di gas costante.
Il sistema è posto in una camera da vuoto dotata di una pompa rotativa e (opzionalmente) di una pompa turbo.
Il sistema misura resistenza di strato e la resistività dei campioni in un intervallo di temperatura fino a 350°C. La corrente e la tensione necessarie alla misura vengono applicate e misurate rispettivamente mediante un generatore di corrente (Keithley 6220) ed un nanovoltmetro (2182A). La separazione degli elettrodi di tensione e corrente permette di eliminare la resistenza di contatto dalla misura.
Le misure possono anche essere eseguite in un flusso di gas costante.
SPECIFICHE TECNICHE
- Pressione base: 5 x 10-3 mbar;
- range di temperatura: da temperatura ambientale a 350°C;
- risoluzione del generatore di corrente: 0.1 pA;
- corrente massima: 105 mA;
- risoluzione nanovoltmetro: 1 nV.
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